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日前,电子科技大学荷福研究院、临港集团与台湾新视讯股份有限公司联合成立的电子科技大学临港荷福光刻胶技术研发中心,在国产自主半导体关键高壁垒核心技术——光刻胶技术攻关及产业化领域获得突破。
光刻胶被称为半导体行业的关键技术,也是光刻环节的重要耗材,是IC制造中耗时大、难度高的工艺。同时,被广泛应用于光电信息产业的微细图形线路的加工制作,还是芯片制造的关键性材料。
因此,电子科技大学荷福研究院、临港集团与国际顶尖光刻胶技术团队经过多年的研发和储备,在多种光刻胶领域获得技术突破,在解决产业化问题的同时,获得了全面产业化的技术和能力。
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责任编辑:王涵